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辊棒式退火炉厂家介绍退火炉的结构
发布时间：
2023/08/24 20:05
辊棒式退火炉厂家介绍退火炉是在半导体器件制造中使用的工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响它们的电特性。热处理是为不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将膜转化为膜或将膜转化为晶片衬底界面，压实沉积膜，改变生长膜的状态，修复注入损伤，将掺杂剂从一个膜移动或转移到另一个膜或从膜转移到晶片衬底。 退火炉可以整合到其他炉处理步骤中，例如氧化，或者可以单独处理。退火炉是通过专门设计用于加热半导体晶片的设备来完成的。退火炉是节能周期运行炉，超节能结构，纤维结构，省电60%。 辊棒式退火炉厂家表示热处理炉分为退火炉，淬火炉，回火炉，正火炉，回火炉，主要用于大型碳钢，合金钢零件的退火;对表面淬火部分进行回火处理;热处理工艺，如焊接零件的应力退火和老化。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环等。退火炉是一种新型的换热设备。 辊棒式退火炉厂家介绍退火炉的结构: 退火炉骨架采用各类钢材焊接而成，外框采用槽钢作为主梁，围板采用冷板，台车采用槽钢作为主梁，底板和前后端板采用中板。 退火炉传动部分:小车由前端的一组驱动轮驱动，驱动轮由电机和减速器通过链条驱动。炉门的传动采用蜗轮减速机和电机组合进行电动升降。 密封:台车与炉体之间的密封采用迷宫式结构，台车两侧设有自动封砂刀密封装置。炉门采用自动滚压和弹簧压紧机构密封。炉体采用优质耐火砖，保证炉子的密封性。台车耐压部分用高铝砖砌筑，下部用保温砖保温。 退火炉燃烧系统:油炉两侧安装多个燃烧器，热流在炉内来回循环，保证炉温均匀。可根据需要选择自动型和半自动型。 废气预热装置:废气预热装置安装在炉子的后上端。炉内烟气通过预热器时，被风机送来的冷风预热，然后通过管道送到燃烧器助燃。出口处装有手动碟阀，可以调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、采矿、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。
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